設備紹介
研磨加工機
| テーブルサイズ | 500×500 mm |
|---|---|
| ロボットアーム | Stäubli, TX60 CS8C |
ロボットアームを用いたシンプルな構成の研磨加工機です。ロボット先端に取り付けた小径研磨工具の滞在時間を制御し、修正研磨を行います。
フィゾー型干渉計
| メーカ, 型式 | Zygo, VeriFire XP/D |
|---|---|
| ビーム径 | 4インチ |
| 平面原器 | 4inch 4%反射（低反射率用） 4inch DynaFrect（高反射率用） |
球面原器 | F/0.75, 1.5, 3.3, 7.1 |
光学面の高精度な面精度計測に使用します。ヌルレンズやCGH（Computer Generated Hologram）と組み合わせることで非球面の面精度も計測可能です。